产品名称：电子级六氟化硫
纯度规格：5N
包装：钢瓶（GB/DOT/ISO）,Y瓶（DOT）,Bundle（GB/DOT/ISO），ISO（DOT），有不同容量。
重量：50kg/500kg/800kg/12t等。
阀门型号：QF/CGA/DISS/JISS/DIN
充装系数： 不大于1.33 kg/L。
主要应用： 电子级六氟化硫（SF6）因其独特的物理和化学性质，在微电子技术领域中发挥着重要作用。它作为一种理想的电子蚀刻剂，被广泛应用于电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中，用于等离子刻蚀及清洗剂。
电子级六氟化硫技术指标
项目 | GB/T 18867-2014 | 内控指标 |
六氟化硫（SF6）纯度（体积分数）/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.999 |
（氧+氩）(O2+Ar)含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 2.0 | 2.0 |
氮（N2）含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 2.0 | 2.0 |
四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 1.0 | 1.0 |
一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.5 | 0.5 |
二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.5 | 0.5 |
六氟乙烷（C2F6）含量（体积分数）/10-6 | ＜ | / | 2.0 |
甲烷（CH4）（体积分数）/10-6 | ≤ | 0.5 | 0.5 |
水（H2O）含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 3.0 | 3.0 |
酸度（以HF计）含量（质量分数）/10-6 | ≤ | 0.1 | 0.1 |
可水解氟化物（以HF计）含量（质量分数）/10-6 | ≤ | 0.8 | 0.2 |
总杂质含量（体积分数）/10-6 | ≤ | 10.0 | 10.0 |
颗粒 | 供需双方协商 | 供需双方协商 |
川公网安备51180002511801号
