产品名称：电子级三氟化氮                

纯度规格：5N5                        

包装：钢瓶（GB/DOT/ISO）,Y瓶（DOT）,Bundle（GB/DOT/ISO），ISO（DOT），有不同容量。

重量：20kg/200kg/320kg/6t/8t 等。

阀门型号：QF/CGA/DISS/JISS/DIN

充装系数：不大于0.5kg/L。

主要应用：

       IC方面：由于作为半导体工业中气体清洗剂的全氟烃（PFC）对环境有害，近年来有逐渐被三氟化氮（NF3）取代之势。使用NF3作为化学蒸气沉积（CVD）箱清洗剂，与全氟烃相比，可减少污染物排放量约90%，且可显著提高清洗速度，从而可提高清洗设备能力约30%。

       LCD方面：NF3还可用作蚀刻剂，也用于液晶显示器（LCD）的加工。为此，近年来NF3需求量急剧增长。

       太阳能电池：NF3作为蚀刻和清洗气体也在太阳能电池制造行业广泛应用。

电子级三氟化氮技术指标